PROFILOMETRIE POMOCÍ INTERFERENCE BÍLÉHO SVĚTLA


Abstract cze:
Abstrakt: Profilometrie pomocí interference bílého světla je metoda vhodná pro proměřování topologie technických povrchů. Jedná se o bezkontaktní optickou metodu, při které je proměřen výškový profil předmětu s přesností přibližně 1 fim. Při jednom měřícím procesu je možné proměřit výškový profil na ploše o velikosti 20 x 20 mm. Příčné rozlišení této měřící metody je přibližně 40 fim. Díky koaxiálnímu uspořádání je možné měřit i v hlubokých dírách nebo zářezech. Výškový rozsah měření může dosáhnout od stovek mikrometrů po desítky milimetrů při zachování vysoké měřící přesnosti.

Abstract eng:
Abstract: Profilometrie pomocí interference bílého světla je metoda vhodná pro proměřování topologie technických povrchů. Jedná se o bezkontaktní optickou metodu, při které je proměřen výškový profil předmětu s přesností přibližně 1 fim. Při jednom měřícím procesu je možné proměřit výškový profil na ploše o velikosti 20 x 20 mm. Příčné rozlišení této měřící metody je přibližně 40 fim. Díky koaxiálnímu uspořádání je možné měřit i v hlubokých dírách nebo zářezech. Výškový rozsah měření může dosáhnout od stovek mikrometrů po desítky milimetrů při zachování vysoké měřící přesnosti.

Publisher:
Institute of Mechanics and Solids, FME, TU Brno
Conference Title:
Conference Title:
Engineering Mechanics 2002
Conference Venue:
Svratka (CZ)
Conference Dates:
2002-05-13 / 2002-05-16
Rights:
Text je chráněný podle autorského zákona č. 121/2000 Sb.



Record appears in:

 Record created 2014-10-23, last modified 2014-11-18


Original version of the author's contribution as presented on CD, . :
Download fulltext
PDF

Rate this document:

Rate this document:
1
2
3
 
(Not yet reviewed)